電參數(shù)測試：參數(shù)分析儀能夠測量半導體器件的電流-電壓（I-V）特性、電容-電壓（C-V）特性以及其他關鍵參數(shù)，這對于評估器件的性能至關重要。例如，通過I-V測試可以確定器件的導通電阻、擊穿電壓等特性。
可靠性測試：參數(shù)分析儀用于測試半導體器件在不同溫度和偏置條件下的穩(wěn)定性，以評估其長期可靠性。這包括了對器件進行高溫反向偏置（HTGB）測試和高溫操作壽命（HTOL）測試。
動態(tài)性能測試：參數(shù)分析儀可以對器件的動態(tài)性能進行測試，如頻率響應、增益和相位特性，這對于高頻應用尤為重要。
小信號參數(shù)測試：在設計階段，參數(shù)分析儀用于測量器件的小信號參數(shù)，如跨導、互導和極間電容等，這些參數(shù)對于模擬電路設計至關重要。
大信號測試：參數(shù)分析儀還可以進行大信號測試，以評估器件在大電流和高電壓條件下的性能。
數(shù)據(jù)采集與分析：自動化測試環(huán)境中，參數(shù)分析儀通常與測試機（ATE）集成，實現(xiàn)數(shù)據(jù)的自動采集和分析，提高測試效率和準確性。
故障分析：當半導體器件出現(xiàn)故障時，參數(shù)分析儀可以用于故障分析，通過測量故障器件的電參數(shù)來確定故障原因。
研發(fā)與生產(chǎn)：在半導體研發(fā)和生產(chǎn)過程中，參數(shù)分析儀是不可或缺的工具，它不僅可以用于實驗室研發(fā)階段的測試，也可以用于生產(chǎn)線上的快速測試。
質(zhì)量控制：參數(shù)分析儀在半導體制造的質(zhì)量控制環(huán)節(jié)中發(fā)揮著重要作用，通過對成品進行測試，確保只有合格的產(chǎn)品才能進入市場。
