低電平靈敏專用儀器是用于測量極低電平信號的精密設(shè)備，其主要技術(shù)參數(shù)包括電流分辨率、電壓分辨率、輸入阻抗、噪聲水平、測量速率、量程范圍等。這些參數(shù)共同決定了儀器的靈敏度和適用性，使其能夠準確捕捉和分析微弱的電流、電壓和電阻信號。
電流分辨率：指儀器能夠區(qū)分的最小電流變化量，如Keithley 6485型皮安表提供10fA的電流分辨率。
電壓分辨率：指儀器能夠區(qū)分的最小電壓變化量，例如，2182A納伏表擁有1nV的靈敏度。
輸入阻抗：高輸入阻抗是低電平測量的重要特性，它減少了測量時對被測電路的影響，如Keithley 6517B靜電計/高阻表的輸入阻抗大于200TΩ。
噪聲水平：低噪聲水平對于提高測量精度至關(guān)重要，例如，Keithley 6517B靜電計的噪聲僅為0.75fA p-p。
測量速率：指儀器完成一次測量所需的時間，高速測量速率有助于提高生產(chǎn)效率，如Keithley 6485型皮安表支持最高每秒1000個讀數(shù)。
量程范圍：指儀器能夠測量的電流、電壓或電阻的最大值和最小值，如Keithley 6485型皮安表可測量10fA至20mA的電流。
這些技術(shù)參數(shù)共同決定了低電平靈敏專用儀器的性能和應(yīng)用范圍，使其能夠在納米技術(shù)、半導(dǎo)體測試、航空航天等多個領(lǐng)域發(fā)揮關(guān)鍵作用。
